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PECVD系統
產品概述：OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動開啟式PECVD系統。此款成套設備配有等離子射頻電源，三路質量流量混氣系統（量程為1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM）,直徑為60mm的開啟式管式爐（帶真空法蘭和連接管道）及機械泵組成。
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?電源：220V 50/60Hz
?額定功率：3.1 KW
?最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h）
?連續工作溫度：≤1100℃?推薦升溫速率：≤10℃/min
?加熱區長度：440mm
?熱電偶：K 型
?加熱元件：鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb
?爐管尺寸：石英管口徑可選φ60
?控溫精度：±1℃
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- 詳細描述：
技術參數
產品型號
滑動PECVD管式爐系統 —— OYS-1200C-II-60-PECVD（φ60）
主要產品參數
?電源：220V 50/60Hz
?額定功率：3.1 KW
?最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h）
?連續工作溫度：1100 ℃
?推薦升溫速率：≤10℃/min
?加熱區長度：440mm
?熱電偶：K型
主要特點
?射頻電源可以實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度；
?可通過爐體滑動達到快速升降溫；
?可以通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應力；
?可通過工藝調節控制化學計量；
?可沉積各種材料，如SiOx,SiNx,SiOxNy和（a-Si:H）等；
加熱元件
?鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb
爐管尺寸
?石英管口徑可選:φ60
溫控系統
?包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調節，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能；
?控溫精度：±1℃
等離子射頻電源
300W射頻電源
?輸出功率：0-300W可調
?射頻頻率：13.56MHZ
?自動匹配
?噪音＜50dB
?冷卻方式：風冷
?輸入電壓：AC180-250V
真空密封
法蘭接口
?標配：一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈；出氣端為三口法蘭分別為K16,KF25,φ8.2
?出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉接頭與波紋管相連接再于真空泵相連；
真空泵
?采用雙旋片式機械真空泵TRP-12
?真空度可以達到10-2torr；
?真空連接配件配有KF25卡箍及不銹鋼波紋管用于連接管式爐與真空泵；
供氣系統
三路質量流量混氣系統---GYS-3Z
?電源：220V 50/60HZ
?量程范圍分別為1-100SCCM，1-200SCCM，1-200SCCM
?有一機械壓力表安裝在前面板上，與混氣管相連接
?壓力表量程:-0.1~0.15MPa
?混氣罐尺寸: φ80*120mm
?內部連接管道為?6.35
爐體結構
?爐體可以左右位移 ，射頻電源可以左右位移，爐體和射頻電源同時安裝在同一個滑軌上，使用同一根石英管
認證標準及核心零部件
?整機核心部件均符合CE、UL、MET等認證標準；核心零部件有ABB電器元件，UL認證電線、電纜，歐米茄，宇電、歐陸儀表等。
注意事項
?爐管內氣壓不得高于0.02MPA；
?由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全；
?對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生(如爐 管破裂，法蘭飛出等)；
?氣體的流量應限制在<200 SCCM(或200ml/ min)
售后
?質保期一年，終身維護，24小時在線服務；
?特別提示：耗材部分如加熱元件、爐管、坩堝等不包括在內；因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內。
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